A laboratóriumi építési tér hőmérsékletét és nedvességtartalmát elsősorban a folyamat követelményei szerint határozzák meg, de az emberi kényelem szintjét figyelembe kell venni a folyamat követelményeinek teljesítése során. A légtisztasági követelmények javításával egyre szigorúbb követelmény volt a folyamat hőmérséklete és páratartalma tekintetében. A hőmérséklet speciális folyamatkövetelményei később kerülnek felsorolásra, de általános elvként az egyre finomabb feldolgozási pontosság miatt a hőmérséklet-ingadozási tartomány követelményei egyre kisebbek és kisebbek.
Például a nagyméretű integrált áramköri gyártás litográfiai expozíciós folyamata során az üveg és a szilikonlap mint maszk anyag közötti hőtágulási együttható különbsége kisebb és kisebb lesz. 100 um átmérőjű szilikonlap, 1 fokos hőmérséklet-emelkedés, 0,24um lineáris kitágulást okozott, állandó hőmérséklete ± 0,1 fok, míg a kívánt nedvességtartalom általában alacsonyabb, mert az emberek verejtékezésre kerülnek szennyezett, különösen Fél a nátrium-félvezető műhelytől, ez a műhely hőmérséklete nem haladhatja meg a 25 fokot, a túlzott páratartalom problémája több problémát okozott. Amikor a relatív páratartalom meghaladja az 55% -ot, a hűtővíz cső falán kondenzáció alakul ki. Ha egy precíziós eszközben vagy áramkörben fordul elő, akkor különböző baleseteket okozhat.
Nyomásszabályozás
A legtöbb tiszta helyiség esetében meg kell őrizni a külső nyomás (statikus nyomás) magasabb belső nyomását (statikus nyomást) annak érdekében, hogy megakadályozza a külső szennyeződés bejutását. A nyomáskülönbség fenntartása általában megfelel a következő elveknek:
1. A tiszta tér nyomása magasabb, mint a nem tiszta tér nyomása.
2. A magas tisztasági szint nagyobb, mint a szomszédos alacsony tisztaságú nyomás.
A nyomáskülönbség fenntartása attól függ, hogy mennyi friss levegő van, amely kompenzálja a légnyomásnak a nyomáskülönbség alatti résből kiszivárgó mennyiségét. Tehát a nyomáskülönbség fizikai jelentése a szivárgás (vagy penetráció) ellenállása, amikor a levegő mennyisége áthalad a tiszta helyiség különböző résekén.
A levegő sebességének szabályozása a tiszta szobában
A levegőáramlás sebessége, amelyről itt beszélünk, a légáramlási sebességre vonatkozik a tisztatérben. A légcsatorna sebességét más tiszta helyiségekben tárgyalják az adott berendezés megvitatásakor.
A turbulens tiszta helyiséghez Mivel a fő főleg a levegő hígítására támaszkodik a beltéri szennyeződés mértékének csökkentése érdekében, a légcserék számának fogalmát főként a sebesség fogalmának közvetlen használata helyett használják, de a következő a beltéri levegő sebességének követelményei;
(1) A levegőnyílásnak a levegő kilépő nyílásán ne legyen túl nagy. Összehasonlítva egy egyszerű légkondicionált helyiséggel, gyorsabb sebességcsökkentést és nagyobb szórási szöget igényel.
(2) A vízszintes sík fölé fújó levegőáramlási sebesség (például az oldalsó etetéskor fellépő recirkulációs sebesség) nem lehet túl nagy ahhoz, hogy a felszíni részecskéket ne fújja vissza a levegőáramba, és újraszennyeződést okoz. Ez a sebesség általában nem ajánlott 0,2 m / s-ig.
A párhuzamos áramlású tiszta teret "általánosan a lamináris tiszta helyiségnek" nevezik, a keresztmetszet sebessége nagyon fontos mutató, mivel a dugattyút főként a levegőáramlásra használják a festés kizárásához. A múltban hivatkoztak az Egyesült Államok 20gB szabványára, és 0,45-et használtak. Kisasszony. De az emberek azt is megtudták, hogy az ilyen nagy sebességű szellőztetés mennyisége nagyon nagy. Az energiatakarékosság érdekében a szélsebesség csökkentésének megvalósíthatóságát is megpróbálják.
Kínában mind az Air Cleantech Measures, mind a Cleanroom Design Code
Függőleges párhuzamos áramlás (lamináris áramlású) tiszta szoba ≥0,25 m / s
Vízszintes párhuzamos áramlás (lamináris áramlású) tiszta szoba ≥ 0,35 m / s
Zajcsökkentés
A tiszta laboratóriumi konstrukció zajszintje általában szigorúbb, mint az egészségvédelem. A cél annak biztosítása, hogy a műveleteket rendszerint elvégezzék, és hogy a szükséges társalgási kapcsolat és biztonságos és kényelmes munkakörnyezet teljesüljön. Ezért a tiszta helyiség zajának fő mutatója.
1. A baj hatása
A zaj miatt az emberek nyugtalanok és bajban vannak az érzelmekkel. Általában nagyon csendes, nagyon csendes, csendes, enyhén zajos, viszonylag zajos és rendkívül zajos. Ahol a válasz szintje nagyon zajos és rendkívül zajos, nagy a szorongás, és a nagyszámú bajok aránya a teljes számban nagy a szorongás.
2. A munka hatékonyságára gyakorolt hatás
Ez főként attól függ, hogy mennyire reagál a három területen. Ez a három szempont: a koncentráció, a cselekvés pontossága és a munka gyorsasága;
3. Interferencia az integrált kommunikációval